| 196 |
군집 분석 기법을 통한 플라즈마 식각 공정의 식각 종말점 검출
이성현, 채희엽, 최호준, 김재현
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
| 195 |
3.3 kV급 이상 고전압 전력반도체 소자 개발을 위한 단위공정 최적화를 위한 식각공정 분석
최규철, 김덕열, 김봉환, 장상목
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
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Etching of SiO2 in an inductively coupled plasma using hexafluoroisopropanol
이유종, 김창구
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
| 193 |
NF3 플라즈마 및 Trimethylaluminum을 사용한 Al2O3의 등방성 원자층 식각
강호진, 하희주, 이형우, 김용재, 채희엽
한국화학공학회 2022년 봄 학술대회 |
| 192 |
Effects of O2 addition on etching process in heptafluoropropyl methyl ether plasmas
이유종, 김창구
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
| 191 |
Angular dependence of SiO2 etch rates in hydrofluoroalcohol-containing plasmas
선은재, 김창구
한국화학공학회 2021년 가을 학술대회 |
| 190 |
용액공정형 전사 방법을 이용한 청색 페로브스카이트 마이크로 발광다이오드의 특성(Properties of blue perovskite micro light-emitting diodes by using solution-processable transfer method
김민성, 최인영, 명재민
한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
| 189 |
Effect of mixing ratio in SiO2 etching using hydrofluoroether plasmas
선은재, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
| 188 |
Particle-to-Binder 공정을 이용한 초친수성 형성 코팅물 제조 및 물성 평가
문이빈, 김주영, 이동희, 권성식, 여평모
한국공업화학회 2021년 가을 학술대회 |
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Enhancement-Mode Gallium Nitride Heterojunction Field-Effect Transistors
차호영, 장원호, 김정진
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
