번호 | 제목 |
---|---|
2 |
실란 펄스 플라즈마 공정에서의 플라즈마 화학 분석 김동주, 김교선 한국공업화학회 2005년 봄 학술대회 |
1 |
실란 펄스 플라즈마 공정에서의 화학 농도 변화에 대한 공정 변수의 영향 김동주, 김교선, Nasonoba Anna 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
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실란 펄스 플라즈마 공정에서의 플라즈마 화학 분석 김동주, 김교선 한국공업화학회 2005년 봄 학술대회 |
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실란 펄스 플라즈마 공정에서의 화학 농도 변화에 대한 공정 변수의 영향 김동주, 김교선, Nasonoba Anna 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |