번호 | 제목 |
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NF3/H2O의 혼합 가스 플라즈마를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 공정 최적화 및 오염물 최소화에 대한 연구 이구봉, 김현태, 김민수, 최인찬, 장성해, 박진구 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
38 |
실리콘 웨이퍼 상 금속 오염 세정 공정 연구 이동환, 김민수, 김현태, 최인찬, 장성해, 박진구 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
37 |
LIPSS 패턴을 이용한 유기반도체 전하 이동도 제어 조정형, 채상민, 김용휘, 최지연, 김효정 한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
36 |
플라즈마를 이용한 그래핀의 무결함 질소 도핑과 라만 특성평가 이병주, 정구환 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
35 |
플렉서블 태양전지를 위한 저온 공정의 실리콘 박막 및 소자제작 기술 강동원 한국공업화학회 2015년 가을 학술대회 |
34 |
ILD CMP 공정에서 실리콘 산화막의 기계적 성질이 Scratch 발생에 미치는 영향 조병준, 권태영, 김혁민, 박진구 한국재료학회 2011년 가을 학술대회 |
33 |
홀겹 탄소나노튜브의 수평배향도 및 밀도 제어 김진주, 정구환 한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
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무연 솔더 플립칩 적용을 위한 새로운 Ni-Zn UBM에 대한 연구 (A new Ni-Zn under bump metallurgy for Pb-free solder flip chip application) 김태진, 조해영, 김영민, 박진영, 김영호 한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
31 |
질산을 이용한 실리콘 산화막에 관한 연구 부현필, 강민구, 김영도, 이경동, 박효민, 탁성주, 박성은, 김동환 한국재료학회 2010년 봄 학술대회 |
30 |
Cu/low-k BEOL공정에서의 혼합세정액의 개발 및 세정공정 특성 연구 고천광, 이원규 한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |