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인산 기반 용액을 이용한 Si3N4/SiO2 선택적 식각의 고온에서의 경향 연구 박태건, 김태현, 손창진, 임상우 한국화학공학회 2019년 가을 학술대회 |
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탄소기판 위에 증착된 보론 도핑된 비정질 실리콘의 결정화 연구 임경열, 장효식† 한국재료학회 2018년 봄 학술대회 |
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탄소기판 위에 증착된 비정질 박막 실리콘의 결정화 연구 임경열, 장효식 한국재료학회 2017년 가을 학술대회 |
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Fabrication of nano-size silicon pillar pattern by block copolymer masking method 김두산, 김화성, 박진우, 염근영 한국재료학회 2016년 봄 학술대회 |
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실리콘 질화막 포획층의 밴드갭 에너지 조절을 통한 비정질 인듐-주석-아연-산화물 비휘발성 메모리 소자의 Memory Window 특성 향상 이준신, 김태용, 장성운 한국재료학회 2015년 가을 학술대회 |
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다양한 PECVD 무선주파수 변화에 따른 실리콘 태양전지 전면 패시베이션층 특성분석 이경동, 김성탁, 김현호, 박성은, 이해석, 김동환 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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실리콘 태양전지 적용을 위하여 다양한 PECVD 무선주파수를 변화시킨 전면 패시베이션층 특성분석 이경동, 김성탁, 김현호, 박성은, 탁성주, 김동환 한국재료학회 2012년 가을 학술대회 |
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보론 에미터를 이용한 n-type 결정질 실리콘 태양전지 특성 김찬석, 탁성주, 박성은, 김영도, 박효민, 김성탁, 김현호, 배수현, 김동환 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
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Investigation of Silicon Nitride Thin Films Prepared by Atomic Layer Deposition Using Si2Cl6 and NH3 as the Precursors 윤원덕, 나사균, 박광철, 최병준, 이원준, 서정혜, 이연승, 김헌도, 박상기 한국재료학회 2008년 봄 학술대회 |
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원자층 증착 방법에 의한 실리콘 질화막 특성에 관한 연구|The Characteristics of Silicon Nitride Thin Film by Atomic Layer Deposition 천민호, 한창희, 김운중, 이원준, 이연승, 나사균 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |