화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 압력유도 상변이흡수제인 KMU-1을 이용한 CO2 포집에 관한 연구
김병수, 윤지호, 박정우, 안슬기, 서영록, 이창호
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회
2 Reduction of contact hole diameter by alternating etching and deposition using a fluorocarbon plasma
조성운, 김준현, 김창구
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회
1 Control of the contact hole diameter using inductively coupled fluorocarbon and hydrocarbon plasmas
김준현, 조성운, 김창구
한국화학공학회 2011년 봄 학술대회