번호 | 제목 |
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압력유도 상변이흡수제인 KMU-1을 이용한 CO2 포집에 관한 연구 김병수, 윤지호, 박정우, 안슬기, 서영록, 이창호 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
2 |
Reduction of contact hole diameter by alternating etching and deposition using a fluorocarbon plasma 조성운, 김준현, 김창구 한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
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Control of the contact hole diameter using inductively coupled fluorocarbon and hydrocarbon plasmas 김준현, 조성운, 김창구 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |