| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
비점착성 SiO2 층을 이용한 나노임프린트용 템플릿 제작 연구|Anti-sticking SiO2 layer on Template for nanoimprint lithography technique 최방림, 문강훈, 박인성, 홍성훈, 양기현, 이헌, 안진호 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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비점착성 SiO2 층을 이용한 나노임프린트용 템플릿 제작 연구|Anti-sticking SiO2 layer on Template for nanoimprint lithography technique 최방림, 문강훈, 박인성, 홍성훈, 양기현, 이헌, 안진호 한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |