| 번호 | 제목 |
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FeRAM 소자에서 Al 배선 특성에 미치는 공정 영향 평가|Effects of Process Conditions on Al Metallization Properties in FeRAM Device 조경원, 권순용, 염승진, 김남경, 최은석, 선호정, 홍태환, 이영근, 최시경 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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FeRAM 소자 제작 중에 발생하는 Pt/Al 반응에 관한 분석|Characterization of Pt/Al reaction in FeRAM device integration 조경원, 권순용, 염승진, 최시경, 김남경, 최은석, 선호정, 홍태환, 김일호, 이정일, 어순철, 이영근 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
