| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
초임계 이산화탄소를 이용한 웨이퍼 세정|Wafer Cleaning Using Supercritical Carbon Dioxide 오봉환, 김선태, 이창용, 임교빈|Bong-Hwan Oh, Sun-Tae Kim, Chang-Yong Lee, Gio-Bin Lim 한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |
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초임계 이산화탄소를 이용한 웨이퍼 세정|Wafer Cleaning Using Supercritical Carbon Dioxide 오봉환, 김선태, 이창용, 임교빈|Bong-Hwan Oh, Sun-Tae Kim, Chang-Yong Lee, Gio-Bin Lim 한국화학공학회 2000년 가을 학술대회 |