화학공학소재연구정보센터
번호 제목
19 InGaAs의 wet treatment 후 표면 산화 거동 연구
이진훈, 나지훈, 임상우
한국화학공학회 2017년 가을 학술대회
18 EUV 마스크 표면 재료 및 carbon 오염물 간의 상호작용 및 carbon 오염물 제거를 위한 세정액 연구
송희진, 김민수, 김현태, 최인찬, 장성해, 박진구
한국재료학회 2016년 가을 학술대회
17 실리콘 웨이퍼 상 금속 오염 세정 공정 연구
이동환, 김민수, 김현태, 최인찬, 장성해, 박진구
한국재료학회 2016년 가을 학술대회
16 복합악취 제거용 망간기반 촉매의 성능 증진 연구
서민혜, 이민석, 엄성현
한국공업화학회 2016년 봄 학술대회
15 Organic solvent를 이용한 Ge 및 GaAs 상 photoresist 제거
오은석, 김솔바로, 이승효, 임상우
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
14 GaAs 의 습식 세정 공정 중 단계별 표면 처리에 따른 표면 종단 특성 변화 연구
이진훈, 오은석, 김솔바로, 임상우
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회
13 UV 나노임프린트 리소그래피의 Quartz 기판상의 Resin mold 제거를 위한 Hybrid 세정공정에 관한 연구
조윤식, 김민수, 강봉균, 김재관, 이병규, 박진구
한국재료학회 2012년 봄 학술대회
12 오존 산화를 통한 활성탄 흡착탑의 재생시 활성탄의 물성 및 흡착용량 변화
이진주, 유시리, 이기세
한국공업화학회 2011년 가을 학술대회
11 이류체 노즐을 이용한 FPD 세정시스템 및 공정개발에 대한 연구
김민수, 김혁민, 강봉균, 이승호, 조병준, 정지현, 박진구
한국재료학회 2010년 봄 학술대회
10 오존수를 활용한 악취저감 대책방안
윤경진, 윤희관, 권오훈, 이광호, 조병성, 김재용
한국공업화학회 2010년 가을 학술대회