화학공학소재연구정보센터
번호 제목
6 고효율 오존 용해를 위한 3D 프린팅 기술 이용 인라인 믹서 개발
이지선, 박혜주, 손채원, 강석태
한국공업화학회 2021년 가을 학술대회
5 신규미량유해물질 제거를 위한 고효율 고도산화에 관한 연구
박찬규
한국공업화학회 2015년 봄 학술대회
4 관내 혼합기 형상에 따른 오존 미세 기포 혼합 특성 해석
송동근, 홍원석, 신완호, 장호길, 이태훈, 박기태
한국화학공학회 2012년 가을 학술대회
3 (Pt-TaOx)/Ti 전극을 이용한 초순수에서의 전기화학적 오존수 발생
김한주, 홍경미, 박수길
한국공업화학회 2009년 봄 학술대회
2 Cleaning of Silicon Wafer Surface by Ozonated Water Chemistries
이종혁, 백성훈, 임상우
한국화학공학회 2008년 봄 학술대회
1 RCA 반도체 습식 세정 공정 중 오존을 이용한 SC1 세정을 위한 최적화 연구|The Study of Optimized Process Condition using Ozone for SC1 Solution in RCA Wet Cleaning Process
이승호, 이상호, 김규채, 권태영, 박진구, 배소익, 김인정, 이건호
한국재료학회 2005년 가을 학술대회