화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 Atomic Layer Deposition of TaC gate electrode with TBTDET
조기희, 이시우
한국재료학회 2009년 봄 학술대회
3 원자층 화학증착법으로 제조된 WC(Tungsten Carbide)막의 증착 특성
김영재, 박준형, 김도형
한국화학공학회 2003년 봄 학술대회
2 원자층 나노박막 증착을 위한 표면화학 연구|Surface chemistry study for atomic layer chemical vapor deposition
용기중|Kijung Yong
한국화학공학회 2001년 가을 학술대회
1 원자층 화학증착법을 이용한 나노구조 형성|Formation of nano structure using atomic layer chemical vapor deposition
이시우, 남원희, 김원규|Shi-Woo Rhee, Won-Hee Nam, Won-Kyu Kim
한국화학공학회 2001년 봄 학술대회