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Nano-piezoelectric Head Spray System 기반의 미세 반도체 세정 공정에 탑재 가능한 15μm 이하 내경의 미세 멀티홀 노즐 시스템 개발
김경학, 박범준
한국화학공학회 2017년 가을 학술대회 |
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식물성 오일 유래 친환경 실리콘 웨이퍼 세정제의 합성 및 물성 평가
김도원, 조서연, 이수민, 이주연, 손종석, 임종주, 이명진
한국공업화학회 2015년 봄 학술대회 |
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유기물 제거를 위한 Post Cu CMP 세정 용액 개발
권태영, Y. Nagendra Prasad, R. Prasanna Venkatesh, 박진구
한국재료학회 2011년 봄 학술대회 |
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반도체 세정액 내 용존 수소 가스가 웨이퍼 세정에 미치는 영향
김혁민, 강봉균, 이승호, 박진구, 최은석, 김인정, 김봉우
한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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Modification of Ozonated Water Cleaning System for Photoresist Removal
이종혁, 임상우
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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Adsorption separation of carbon dioxide, ethanol and monoethanolamine gas by activated carbon
김병헌, 이광순, 이세찬
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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고압 이산화탄소와 반도체세정혼합물의 운점
권세호, 임종성, 한갑수, 유기풍, 원종우
한국화학공학회 2007년 가을 학술대회 |
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Supercritical CO2 Resist Removal (SCORR) of Pattern Wafers
유기풍
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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Solubility of carbon dioxide in ionic liquids 1-Butyl-1-methylpyrrolidinium trifluoromethanesulfonate and Tihexyl(tetradecyl)phosphonium bis(trifluoromethylsulfonyl)imide
윤지은, 이광순
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
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초임계 이산화탄소, 반도체세정제, 계면활성제 혼합물의 Cloud Point
권세호, 임종성, 유기풍, 한갑수
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
