| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
STI CMP용 나노 세리아 슬러리에서 계면 활성제 분자량의 영향|Effects of molecular weight of surfactant in Nano Ceria Slurry on Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing 이명윤, 강현구, Takeo Katoh, 박형순, 백운규, 박재근 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
STI CMP용 나노 세리아 슬러리에서 계면 활성제 분자량의 영향|Effects of molecular weight of surfactant in Nano Ceria Slurry on Shallow Trench Isolation Chemical Mechanical Polishing 이명윤, 강현구, Takeo Katoh, 박형순, 백운규, 박재근 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |