| 번호 | 제목 |
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기상유도결정화와 후속 Pulsed RTA를 이용한 다결정 실리콘 박막의 제조 강승모, 이승렬, 안경민, 안병태 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
| 5 |
Hot-Wire CVD 방법을 이용한 저온 에피택셜 실리콘 박막의 표면 텍스처 형성 이승렬, 안경민, 안병태 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
| 4 |
NiCl2 화합물 분위기를 이용한 비정실 실리콘 박막의 저온 결정화 안경민, 이승렬, 안병태 한국재료학회 2007년 가을 학술대회 |
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다결정 실리콘 씨앗층에서의 Hot-wire CVD 방법을 이용한 에피택셜 실리콘 성장에 관한 연구 이승렬, 안경민, 안병태 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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반응성 스퍼터링을 이용한 Co-N 박막 형성 및 이를 이용한 CoSi2 에피층 성장|Formation of Co-N film using reactive sputtering of Co and growth of epitaxial CoSi2 using the Co-N film 이승렬, 김선일, 안병태 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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금속유기화학기상증착법으로 증착된 Co-O-N 박막을 이용한 CoSi2 에피층 성장|Growth of epitaxial CoSi2 using Co-O-N films deposited by metallorganic chemical vapor deposition 김선일, 이승렬, 안병태 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
