| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
이중주파수를 사용하는 펄스 플라즈마의 특성 분석 서진석, 김경남, 김태형, 염근영 한국재료학회 2013년 가을 학술대회 |
| 1 |
대구경 웨이퍼 공정을 위한 이중 주파수를 이용한 유도 결합 플라즈마 소스의 특성 연구 서진석, 김기석, 김태형, anurag mishra, 김경남, 염근영 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
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| 2 |
이중주파수를 사용하는 펄스 플라즈마의 특성 분석 서진석, 김경남, 김태형, 염근영 한국재료학회 2013년 가을 학술대회 |
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대구경 웨이퍼 공정을 위한 이중 주파수를 이용한 유도 결합 플라즈마 소스의 특성 연구 서진석, 김기석, 김태형, anurag mishra, 김경남, 염근영 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |