| 번호 | 제목 |
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FOUP에서 Al cleaning에 적용가능한 HPM 농도 및 DIW rinse 양에 대한 연구(optimal study on the HPM concentration and DIW rinse of Al cleaning in FOUP) 유철휘, 황갑진, 강성구, 이솔, 김명기, 성덕형, 장성만 한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
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반도체 웨이퍼 메탈오염방지를 위한 보관용기 오염 제거 장성만, 성덕형, 김명기, 이솔, 강성구, 황갑진, 유철휘 한국공업화학회 2015년 봄 학술대회 |
