| 번호 | 제목 |
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합성온도에 따른 알루미늄계 촉매의 표면형상과 NF3 가수분해반응에서의 활성평가 이진욱, 이태진, 박창준, 최원영, 김민정, 정용한, 박노국, 장원철 한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
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NF3 가수분해를 위한 알루미나계 촉매의 장시간 성능 평가 이진욱, 김민정, 박창준, 최원영, 정용한, 이태진, 박노국, 장원철 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
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NF3 가수분해 반응에서 수분 공급량이 촉매에 주는 영향 이진욱, 박창준, 최원영, 김민정, 정용한, 이태진, 박노국, 장원철 한국공업화학회 2016년 가을 학술대회 |
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고체 산 촉매에 의한 NF3 가수 분해에서의 스팀공급량의 영향 장원철, 박노국, 이태진, 김민정, 최원영, 박창준, 이태훈, 성연백, 이진욱 한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
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반도체 제조공정에서 배출되는 NF3의 가수분해를 위한 Sulfate 담지 알루미나의 촉매활성 이진욱, 성연백, 이태훈, 김민정, 박창준, 최원영, 이태진, 박노국, 장원철, 최희영 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
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알루미나계 촉매를 이용한 반도체 제조공정에서 배출되는 NF3의 가수분해 연구 장원철, 이태진, 박노국, 김민정, 최원영, 박창준, 이태훈, 성연백, 이진욱 한국공업화학회 2015년 가을 학술대회 |
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반도체 세정에 사용되는 NF3의 ZrO2 촉매 상에서의 가수분해 반응 이진욱, 성연백, 이태훈, 김민정, 박창준, 최원영, 이태진, 박노국, 장원철 한국공업화학회 2015년 봄 학술대회 |
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반도체 폐가스로부터 SF6 분리 농축시스템 박완근, 이민우, 가명진, 장원철 한국공업화학회 2015년 봄 학술대회 |
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γ-alumina 촉매상에서 NF3의 가수분해 및 분해생성물 조사 김용술, 지찬태, 이태훈, 성연백, 박노국, 이태진, 장원철, 최희영 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
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N2O 저감용 촉매 개발 및 제조 김대수, 장원철, 권원태, 김진영, 전상구 한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
