번호 | 제목 |
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4 |
CF4 plasma를 이용한 MoS2 thin film 식각 방법 윤덕현, 전민환, 염근영 한국재료학회 2015년 봄 학술대회 |
3 |
Layer by Layer Control of MoS2 Film through Atomic Layer Etching System 임태철, 전민환, 염근영 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
2 |
Puled Plasma를 이용하여60 MHz/2 MHz Dual-Frequency Capacitive coupled plasma에서 SiO2의 식각특성에 관한 연구 염근영, 전민환, 김회준 한국재료학회 2013년 봄 학술대회 |
1 |
유도결합플라즈마에서 CO/NH3가스를 이용한 Magnetic Tunneling Junction(MTJ) layer 식각 김성희, 전민환, 염근영 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |