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반도체/디스플레이 장비 공정부품용 코팅소재의 진단 및 신뢰성평가 기술
김민중, 이승수, 소종호, 김진태, 정낙관, 최은미, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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고온의 진공상태에서 열화한 반도체 소재 TTIP(Tetraisopropyl orthotitanate) 전구체의 열물성 및 ALD를 사용한 박막의 특성평가
안지혁, 신재수, 안종기, 강고루, 심섭, 김하영, 최은미, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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반도체 캐패시터 유전막 증착원료(precursor) TEMAHf(Tetrakis-ethylmethylaminohafnium)의 진공에서의 열물성 및 박막특성평가
안지혁, 김하영, 심섭, 강고루, 안종기, 최은미, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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반도체 캐패시터 유전막 증착원료(precursor) Cyclopentadienyl Tris(dimethylamino) Zirconium의 분해와 소자 특성 변화에 관한 연구
최은미, 안지혁, 강고루, 김하영, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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진공환경에서 OLED 소자에 사용되는 증착원료 소재의 장기간 열안정성 평가에 관한 연구
최은미, 김하영, 심섭, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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Effect of Post-annealing on low-k SiOCH Films deposited by PECVD
전재성, 허훈, 유은성, 김재훈, 정대용, 윤주영, 정낙관
한국공업화학회 2019년 봄 학술대회 |
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가혹조건에서의 향과 분자 구조의 상관관계를 이용한 향료 변성 검출에 대한 기초연구
맹선정, 최은미, 윤세영, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2018년 가을 학술대회 |
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미래 나노급 반도체 및 대면적 OLED를 위한 증착소재개발의 한계돌파를 위한 복합물성 측정 장비개발
윤주영, 안종기, 심섭, 강고루, 김하영, 김진태, 정낙관, 허훈, 허규용
한국공업화학회 2018년 봄 학술대회 |
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Analysis of thin film using in-situ Raman spectroscopy in CVD process
허훈, 유은성, 김재훈, 전재성, 소대섭, 정낙관, 윤주영
한국공업화학회 2018년 봄 학술대회 |
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Study on Ar plasma, O2 plasma and O2 thermal treatment on titanium surface for biomedical applications
맹선정, 송제범, 강고루, 정낙관, 김진태, 윤주영
한국공업화학회 2017년 가을 학술대회 |
