| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
SF6/O2 혼합 가스를 이용한 Cyclo Olefin Copolyer의 건식 식각 (Plasma Etching of Cyclo Olefin Copolyer in SF6/O2 gas mixture) 백인규, 김재권, 박연현, 주영우, 조관식, 이제원, 정필구, 고종수 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |
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SF6/O2 혼합 가스를 이용한 Cyclo Olefin Copolyer의 건식 식각 (Plasma Etching of Cyclo Olefin Copolyer in SF6/O2 gas mixture) 백인규, 김재권, 박연현, 주영우, 조관식, 이제원, 정필구, 고종수 한국재료학회 2007년 봄 학술대회 |