| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 2 |
원자층 화학 증착 공정을 이용한 TiCxNy 박막의 공정 조건과 조성 변화에 따른 박막 특성 연구 조기희, 이시우 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
| 1 |
Atomic Layer Deposition of TaC gate electrode with TBTDET 조기희, 이시우 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |
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원자층 화학 증착 공정을 이용한 TiCxNy 박막의 공정 조건과 조성 변화에 따른 박막 특성 연구 조기희, 이시우 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
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Atomic Layer Deposition of TaC gate electrode with TBTDET 조기희, 이시우 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |