화학공학소재연구정보센터
번호 제목
14 Si 증착 최적화에 모노실란을 사용한 지멘스 공법
정현준, 정재학, 조민제, 조나영, 채강호
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
13 Continuous Czochralski 공정에서의 원료 투입에 대한 예측 모델링을 통한 균일 실리콘 잉곳 생산
채강호, 정재학, 정현준, 조민제, 조나영
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
12 단결정 실리콘 잉곳의 대구경화를 통한 생산성 향상 연구
조나영, 정재학, 정현준, 조민제, 채강호
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
11 단결정 실리콘잉곳 품질 향상을 위한 쵸크랄스키(CZ) 공정 도가니 내부의 최적화 자기장 적용 방식 설계
조민제, 정재학, 정현준, 채강호, 조나영
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
10 실더형태 변화와 자기장을 이용해 단결정 실리콘잉곳 내 산소농도를 컨트롤하는 쵸크랄스키(CZ) 공정 설계
조민제, 정재학, 노지원, 정현준, 이유리
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회
9 A study of optimum growth rate on Continuous Czochralski process
이유리, 정재학, 노지원, 정현준, 조민제
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회
8 지멘스 공정에서 모노실란을 이용한 도가니 내의 폴리실리콘 성장 최적화
정현준, 정재학, 이유리, 조민제, 노지원
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회
7 스트레스 유도된 실리콘의 박리과정의 최적화를 위한 시뮬레이션 연구
노지원, 정재학, 이유리, 정현준, 조민제
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회
6 품질 향상을 위해 자기장을 이용한 초크랄스키 성장법
이유리, 정재학, 조민제
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회
5 쵸크랄스키(CZ) 공정 내 실더 형태에 의해 변화된 산소농도와 그에 따른 태양 전지 실리콘 잉곳성장
조민제, 정재학, 이유리
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회