화학공학소재연구정보센터
번호 제목
2 Electrical properties of MIM capacitor with LaxAlyOz lamiante dielectrics deposited by ALD
김수영, 하정숙, 조상진, 김병호, 강동균, 박원태
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
1 Electrical properties of MIM capacitor with La2O3 dielectrics deposited by ALD
조상진, 하정숙, 김수영, 박원태, 강동균, 김병호
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회