번호 | 제목 |
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Electrical properties of MIM capacitor with LaxAlyOz lamiante dielectrics deposited by ALD 김수영, 하정숙, 조상진, 김병호, 강동균, 박원태 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
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Electrical properties of MIM capacitor with La2O3 dielectrics deposited by ALD 조상진, 하정숙, 김수영, 박원태, 강동균, 김병호 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |