| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Quasi-Atomic Layer Etching of SiO2 Layers for Surface Cleaning of Nanoscale Patterns with Fluorocarbons having Low Global Warming Potential 김용재, 채희엽, 조예근, 이상인 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |
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Quasi-Atomic Layer Etching of SiO2 Layers for Surface Cleaning of Nanoscale Patterns with Fluorocarbons having Low Global Warming Potential 김용재, 채희엽, 조예근, 이상인 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회 |