| 28 |
Universal surface reaction model with diffusion effect in plasma oxide etching process
유혜성, 임연호, 박재형, 육영근, 유동훈, 최광성
한국화학공학회 2021년 봄 학술대회 |
| 27 |
Simulation of charge-up coupled with universal surface reaction model in plasma process
유혜성, 육영근, 유동훈, 임연호, 최광성
한국화학공학회 2020년 봄 학술대회 |
| 26 |
Molecular Dynamic Simulation for Contact Hole Etching Process under Fluorocarbon plasma
육영근, 유혜성, 최광성, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
| 25 |
Simulation of the kinetic models of plasma deposition and etching in semiconductor fabrication
유혜성, 임연호, 장원석, 육영근, 유동훈, 최광성
한국화학공학회 2016년 가을 학술대회 |
| 24 |
Advanced 3D feature profile simulation with a realistic plasma surface reaction model
육영근, 임연호, 유혜성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 최광성
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
| 23 |
3D Charge-up simulation coupled with realistic plasma surface reaction model in plasma etch process
유혜성, 육영근, 조덕균, 유동훈, 장원석, 최광성, 임연호
한국화학공학회 2016년 봄 학술대회 |
| 22 |
Charge-up simulation coupled with unified semi-global surface model for UHARC plasma etching in semiconductor fabrication
임연호, 최광성, 유동훈, 조덕균, 육영근, 장원석, 유혜성
한국화학공학회 2015년 가을 학술대회 |
| 21 |
Multiscale simulation of plasma etching process from molecular interactions to feature profile
육영근, 유혜성, 조덕균, 장원석, 유동훈, 최광성, 임연호
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
| 20 |
Advanced 3D feature profile simulation for realistic plasma etch studies
육영근, 유동훈, 조덕균, 최광성, 임연호, 장원석, 이세아, 천푸름
한국화학공학회 2014년 가을 학술대회 |
| 19 |
GPU computing platform for ballistic transport in 3D feature profile simulation of plasma etching process
조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 |
