학술대회 목록보기 번호 제목 1 파일럿 롤투롤 스퍼터로 성막한 SiOx, SiNx 배리어 필름의 물성 분석 및 수분투과도 연구이재흥, 이상진, 김철환, 김성현한국공업화학회 2015년 가을 학술대회 1