번호 | 제목 |
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펄스 SiH4 플라즈마 반응기에서의 입자 성장 제어 김동주, 김교선 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
3 |
SiH4 PCVD 공정에서 입자 성장에 대한 펄스 변조의 영향 김동주, 김교선 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
2 |
실란 펄스 플라즈마 공정에서의 플라즈마 화학 분석 김동주, 김교선 한국공업화학회 2005년 봄 학술대회 |
1 |
실란 펄스 플라즈마 공정에서의 화학 농도 변화에 대한 공정 변수의 영향 김동주, 김교선, Nasonoba Anna 한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |