화학공학소재연구정보센터
번호 제목
4 펄스 SiH4 플라즈마 반응기에서의 입자 성장 제어
김동주, 김교선
한국화학공학회 2007년 봄 학술대회
3 SiH4 PCVD 공정에서 입자 성장에 대한 펄스 변조의 영향
김동주, 김교선
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
2 실란 펄스 플라즈마 공정에서의 플라즈마 화학 분석
김동주, 김교선
한국공업화학회 2005년 봄 학술대회
1 실란 펄스 플라즈마 공정에서의 화학 농도 변화에 대한 공정 변수의 영향
김동주, 김교선, Nasonoba Anna
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회