| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
대기압 배리어 방전을 이용한 포토레지스트 에싱|Atmospheric pressure dielectric barrier discharge processing for photoresist ashing 이수빈, 김선애, 심연근, 김윤기 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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대기압 배리어 방전을 이용한 포토레지스트 에싱|Atmospheric pressure dielectric barrier discharge processing for photoresist ashing 이수빈, 김선애, 심연근, 김윤기 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |