번호 | 제목 |
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10 |
Degradation of methylene blue using recycled TiO2 by atmospheric pressure dielectric barrier discharge 최혜진, 김윤기 한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
9 |
대기압 플라즈마를 이용한 세정용액의 활성종 증가에 따른 세정시스템 연구 권흥수, 이원규 한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
8 |
상압플라즈마에 의한 구리산화물의 용해 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2010년 가을 학술대회 |
7 |
진공 플라즈마 세정기술을 이용한 나노패턴 웨이퍼의 표면세정 백지영, 송재동, 이명화, 김상범, 김경수, 김성현 한국공업화학회 2009년 봄 학술대회 |
6 |
Dry cleaning of organic contaminants on a Si wafer surface using atmospheric& vacuum plasma 송재동, 백지영, 이명화, 김상범, 김경수 한국공업화학회 2008년 가을 학술대회 |
5 |
Surface change of Si by hydrogen and oxygen plasma 전문규, 박정호, 김준환, 김영채 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
4 |
나노 표면처리를 위한 기상 자기 조립막 증착 및 자동화 공정 장비 개발 최대근, 임현의, 노정현, 이동일, 정준호, 이응숙 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회 |
3 |
노즐 형태의 HCRT MOCVD에 의한 티타늄 산화막 증착 김경수, 정일현 한국공업화학회 2005년 가을 학술대회 |
2 |
플라즈마 반응가스에 따른 유기오염물 제거 효율성 및 특성 분석 김광우, 이원규 한국화학공학회 2005년 가을 학술대회 |
1 |
실리콘 웨이퍼 공정에서 in-situ 표면 및 기상특성 소 현, 김영채 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회 |