화학공학소재연구정보센터
번호 제목
10 Degradation of methylene blue using recycled TiO2 by atmospheric pressure dielectric barrier discharge
최혜진, 김윤기
한국재료학회 2021년 봄 학술대회
9 대기압 플라즈마를 이용한 세정용액의 활성종 증가에 따른 세정시스템 연구
권흥수, 이원규
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회
8 상압플라즈마에 의한 구리산화물의 용해 특성 연구
고천광, 이원규
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
7 진공 플라즈마 세정기술을 이용한 나노패턴 웨이퍼의 표면세정
백지영, 송재동, 이명화, 김상범, 김경수, 김성현
한국공업화학회 2009년 봄 학술대회
6 Dry cleaning of organic contaminants on a Si wafer surface using atmospheric& vacuum plasma
송재동, 백지영, 이명화, 김상범, 김경수
한국공업화학회 2008년 가을 학술대회
5 Surface change of Si by hydrogen and oxygen plasma
전문규, 박정호, 김준환, 김영채
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
4 나노 표면처리를 위한 기상 자기 조립막 증착 및 자동화 공정 장비 개발
최대근, 임현의, 노정현, 이동일, 정준호, 이응숙
한국화학공학회 2006년 봄 학술대회
3 노즐 형태의 HCRT MOCVD에 의한 티타늄 산화막 증착
김경수, 정일현
한국공업화학회 2005년 가을 학술대회
2 플라즈마 반응가스에 따른 유기오염물 제거 효율성 및 특성 분석
김광우, 이원규
한국화학공학회 2005년 가을 학술대회
1 실리콘 웨이퍼 공정에서 in-situ 표면 및 기상특성
소 현, 김영채
한국화학공학회 2003년 가을 학술대회