화학공학소재연구정보센터
번호 제목
19 Cation-substituted yttria as a novel plasma resistance material
배강빈, 이인환
한국재료학회 2021년 가을 학술대회
18 지르코늄 기반 유무기 복합체의 리간드 변형 전략을 통한 효율적인 SF6 와 CF4 분리 및 포집
김태훈, 김민범, 김기준, 김아름, 김서율, 배윤상
한국화학공학회 2017년 가을 학술대회
17 광진단계를 활용한 실시간 플라즈마 상태변수 제어기 설계
구준모, 하대근, 박담대, 노현준, 유상원, 김곤호, 백계현, 한종훈
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
16 SF6 및 CF4 분리/포집을 위한 유무기 하이브리드 세공체의 리간드 변형 전략
김태훈, 김민범, 김기준, 김아름, 김서율, 문수영, 장봉준, 김정훈, 배윤상
한국공업화학회 2017년 가을 학술대회
15 플라즈마 에칭 공정에서의 Model Predictive Control기법을 이용한 컨트롤 전략
구준모, 하대근, 한종훈
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
14 반도체 공정에서 배출되는 PFCs처리를 위한 Pilot급 평가시스템 개발
오가연, 노영석, 박문수, 육종묵, 김영진
한국화학공학회 2012년 가을 학술대회
13 전자산업에서 배출되는 PFCs처리 연구를 위한 Pilot급 평가시스템 개발
오가연, 박문수, 노영석, 조철희, 김영진
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회
12 로테이팅 아크플라즈마에 의한 삼불화질소 분해
고지훈, 박동화
한국화학공학회 2009년 가을 학술대회
11 저온저압 플라즈마 환경에서의 미립자 유동 분석
김헌창
한국화학공학회 2009년 봄 학술대회
10 화학복필름접착을 위한 최적화된 플라즈마 조건 확립
박평규, 최영덕, 김의용, 고재선, 윤병선
한국재료학회 2009년 봄 학술대회