번호 | 제목 |
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Cation-substituted yttria as a novel plasma resistance material 배강빈, 이인환 한국재료학회 2021년 가을 학술대회 |
18 |
지르코늄 기반 유무기 복합체의 리간드 변형 전략을 통한 효율적인 SF6 와 CF4 분리 및 포집 김태훈, 김민범, 김기준, 김아름, 김서율, 배윤상 한국화학공학회 2017년 가을 학술대회 |
17 |
광진단계를 활용한 실시간 플라즈마 상태변수 제어기 설계 구준모, 하대근, 박담대, 노현준, 유상원, 김곤호, 백계현, 한종훈 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
16 |
SF6 및 CF4 분리/포집을 위한 유무기 하이브리드 세공체의 리간드 변형 전략 김태훈, 김민범, 김기준, 김아름, 김서율, 문수영, 장봉준, 김정훈, 배윤상 한국공업화학회 2017년 가을 학술대회 |
15 |
플라즈마 에칭 공정에서의 Model Predictive Control기법을 이용한 컨트롤 전략 구준모, 하대근, 한종훈 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |
14 |
반도체 공정에서 배출되는 PFCs처리를 위한 Pilot급 평가시스템 개발 오가연, 노영석, 박문수, 육종묵, 김영진 한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
13 |
전자산업에서 배출되는 PFCs처리 연구를 위한 Pilot급 평가시스템 개발 오가연, 박문수, 노영석, 조철희, 김영진 한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
12 |
로테이팅 아크플라즈마에 의한 삼불화질소 분해 고지훈, 박동화 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
11 |
저온저압 플라즈마 환경에서의 미립자 유동 분석 김헌창 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
10 |
화학복필름접착을 위한 최적화된 플라즈마 조건 확립 박평규, 최영덕, 김의용, 고재선, 윤병선 한국재료학회 2009년 봄 학술대회 |