번호 | 제목 |
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중성빔을 이용한 블록공중합체 패턴의 저손상 식각에 관한 연구 장원준, 김교운, 오지수, 김희주, 홍종우, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
24 |
New Polymeric Spin-On Carbon (SOC) Materials 김성현, 조요한, 이지훈 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
23 |
고내성 스핀코팅 하드마스크용 유기고분자소재 조요한, 이지훈 한국공업화학회 2019년 봄 학술대회 |
22 |
CCP (Capacitively Coupled Plasma)-type Reactor에서 VHF (Very High Frequency) Generator를 이용한 ACL (Amorphous Carbon Layer)에 관한 식각 특성연구 권용현, 신경섭, 황기현, 염근영 한국재료학회 2014년 가을 학술대회 |
21 |
유도결합플라즈마에서 CO/NH3가스를 이용한 Magnetic Tunneling Junction(MTJ) layer 식각 김성희, 전민환, 염근영 한국재료학회 2012년 봄 학술대회 |
20 |
Silanol terminated poly siloxane을 이용한 하드마스크에 관한 연구 유제정, 하지영, 이경균, 이성구, 김상범 한국공업화학회 2011년 봄 학술대회 |
19 |
유·무기 하이브리드 소재의 고차구조 제어 기술 임순호, 장지영, 한미정, 홍순만, 김상범 한국고분자학회 2010년 봄 학술대회 |
18 |
유,무기 하이브리드 소재의 하드마스크 합성 및 건식각 특성에 관한 연구 송재동, 유제정, 김상범, 황석호, 이성구, 이경균 한국고분자학회 2010년 봄 학술대회 |
17 |
질화물계 발광다이오드의 광출력 향상을 위한 광결정 패터닝에 관한 연구 변경재, 박형원, 조중연, 이성환, 이 헌 한국재료학회 2010년 가을 학술대회 |
16 |
유무기 하이브리드 중합체를 이용한 하드마스크에 관한 연구 유제정, 이경균, 이성구, 황석호, 김상범 한국공업화학회 2010년 가을 학술대회 |