화학공학소재연구정보센터
번호 제목
25 중성빔을 이용한 블록공중합체 패턴의 저손상 식각에 관한 연구
장원준, 김교운, 오지수, 김희주, 홍종우, 염근영
한국재료학회 2020년 봄 학술대회
24 New Polymeric Spin-On Carbon (SOC) Materials
김성현, 조요한, 이지훈
한국공업화학회 2019년 가을 학술대회
23 고내성 스핀코팅 하드마스크용 유기고분자소재
조요한, 이지훈
한국공업화학회 2019년 봄 학술대회
22 CCP (Capacitively Coupled Plasma)-type Reactor에서 VHF (Very High Frequency) Generator를 이용한 ACL (Amorphous Carbon Layer)에 관한 식각 특성연구
권용현, 신경섭, 황기현, 염근영
한국재료학회 2014년 가을 학술대회
21 유도결합플라즈마에서 CO/NH3가스를 이용한 Magnetic Tunneling Junction(MTJ) layer 식각
김성희, 전민환, 염근영
한국재료학회 2012년 봄 학술대회
20 Silanol terminated poly siloxane을 이용한 하드마스크에 관한 연구
유제정, 하지영, 이경균, 이성구, 김상범
한국공업화학회 2011년 봄 학술대회
19 유·무기 하이브리드 소재의 고차구조 제어 기술
임순호, 장지영, 한미정, 홍순만, 김상범
한국고분자학회 2010년 봄 학술대회
18 유,무기 하이브리드 소재의 하드마스크 합성 및 건식각 특성에 관한 연구
송재동, 유제정, 김상범, 황석호, 이성구, 이경균
한국고분자학회 2010년 봄 학술대회
17 질화물계 발광다이오드의 광출력 향상을 위한 광결정 패터닝에 관한 연구
변경재, 박형원, 조중연, 이성환, 이 헌
한국재료학회 2010년 가을 학술대회
16 유무기 하이브리드 중합체를 이용한 하드마스크에 관한 연구
유제정, 이경균, 이성구, 황석호, 김상범
한국공업화학회 2010년 가을 학술대회