| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
초임계 이산화탄소를 이용한 웨이퍼 세정|wafer cleaning by using supercritical carbon dioxide 한기현,김선영,유기풍|Ky-Hyun Han,Sun Young Kim,Ki-Pung Yoo 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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초임계 이산화탄소를 이용한 웨이퍼 세정|wafer cleaning by using supercritical carbon dioxide 한기현,김선영,유기풍|Ky-Hyun Han,Sun Young Kim,Ki-Pung Yoo 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |