| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Measuring liquid and vapor composition of mixed precursors for ALD of ZrO2 doped with Al using distillation method 안종기, 심섭, 강고루, 오남근, 김진태, 함성호, 윤주영 한국공업화학회 2016년 봄 학술대회 |
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Measuring liquid and vapor composition of mixed precursors for ALD of ZrO2 doped with Al using distillation method 안종기, 심섭, 강고루, 오남근, 김진태, 함성호, 윤주영 한국공업화학회 2016년 봄 학술대회 |