| 번호 | 제목 |
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다양한 펄스 플라즈마를 이용한 식각 기술 향상을 위한 연구 홍종우, 오지수, 김희주, 김정완, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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중성빔을 이용한 블록공중합체 패턴의 저손상 식각에 관한 연구 장원준, 김교운, 오지수, 김희주, 홍종우, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 1 |
Poly Si Nano-Pattern Etching Using Cl2/Ar Synchronized, Asynchronized Pulsed Inductively Coupled Plasmas 김희주, 김교운, 홍종우, 오지수, 김정완, 이채린, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
