| 번호 | 제목 |
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N2/He Plasma Inhibitor 개발을 통한 공간 분할 PE-ALD시스템에서의 메모리 Gap-fill공정 설계 이백주, 서동원, 황재순, 최재욱 한국재료학회 2021년 봄 학술대회 |
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A Study on the Characteristics of Low Temperature Si3N4 Thin Films Deposited in a Space Divided PEALD System 이백주, 서동원, 황재순, 최재욱 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
