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Molecular materials Containing a Large amount of Iodine as a Sensitizer to Improve the Performance of Extreme UV Resist
박한빛, 이진균, 구예진
한국고분자학회 2021년 봄 학술대회 |
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Micro/nanostructuring and surface modification of silicone rubber by vacuum UV laser
Masayuki OKOSHI, Wisnu Setyo PAMBUDI, Hidetoshi NOJIRI, Tsugito YAMASHITA
한국재료학회 2016년 가을 학술대회 |
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Design and syntheses of novel calixarene-based PAG bound molecular resists for EUV lithography
김현정, 하태환, 김영규
한국공업화학회 2012년 가을 학술대회 |
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Basics and Trend of Semiconductor Lithography
Hye-Keun Oh
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회 |
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Patterning Block Copolymer through Conventional 193 nm ArF Lithography and subsequent thermal flow
문정호, 박승학, 신동옥, 김봉훈, 문형석, 김주영, 김상욱
한국고분자학회 2011년 봄 학술대회 |
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Block Copolymer Multiple Patterning Integrated with Conventional 193 nm ArF Lithography
문정호, 박승학, 신동옥, 문형석, 김주영, 김상욱
한국고분자학회 2010년 가을 학술대회 |
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Ultralarge-Area Block Copolymer Lithography Integrated with Conventional Lithography
김상욱, 정성준, 김봉훈, 이덕현
한국고분자학회 2009년 가을 학술대회 |
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Synthesis of ArF photoresist via reversible addition-fragmentation chain transfer (RAFT) polymerization
손해성, 차상호, 이원기, 이종찬, 김명선, 윤효진, 백세경, 김수경, 함지윤, 김영호, 채승기, 이준경, 이재우, 김재현
한국공업화학회 2009년 봄 학술대회 |
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펄스 레이저 증착(PLD)법에 의한 ZnO 박막 성장과 광발광 특성|Growth and Photoluminescience Properties for ZnO Thin Film by Pulsed Laser Deposition Method
홍광준
한국재료학회 2005년 가을 학술대회 |
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Effect of Ionization Laser Wavelength on the Detection of Iron Oxide Neutral Cluster Distribution in the Gas Phase
신동남, 고동준, 양희정, 김병기, E. R. Bernstein
한국화학공학회 2005년 봄 학술대회 |
