| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Enhanced Selectivity of Atomic Layer Deposited Ru Thin Films through the Discrete Feeding of Vapor-Phase Inhibitor Jeong-Min Lee, Ji Won Han, Tae Joo Park, Woo-Hee Kim 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
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Enhanced Selectivity of Atomic Layer Deposited Ru Thin Films through the Discrete Feeding of Vapor-Phase Inhibitor Jeong-Min Lee, Ji Won Han, Tae Joo Park, Woo-Hee Kim 한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |