화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Synthesis of branched polymer with acid-degradative crosslinkers as ArF photoresist by reversible addition-fragmentation chain transfer (RAFT) polymerization
이애리, 손해성, 김동균, 이종찬
한국고분자학회 2010년 가을 학술대회
2 Materials of Spin-on Hardmask for Sub-70nm Device Fabrication
이정훈, 이창호, 김영호, 윤호규
한국고분자학회 2009년 봄 학술대회
1 ArF resist와 EUV resist의 식각특성 비교
권봉수, 이학주, 김선일, 이내응, 이성권
한국재료학회 2007년 가을 학술대회