| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 12 |
Plasma Damage Protection Processes for Nanoporous Ultralow Dielectrics 조성민, 양태경, 이희우 한국고분자학회 2017년 봄 학술대회 |
| 11 |
Improved Plasma Resistant of Ultralow Dielectrics by Increased Carbon Contents 조성민, 양태경, 이희우 한국고분자학회 2016년 봄 학술대회 |
| 10 |
기능기에 따른 구리산화물 제거 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2011년 봄 학술대회 |
| 9 |
Cu/low-k BEOL공정에서의 혼합세정액의 개발 및 세정공정 특성 연구 고천광, 이원규 한국공업화학회 2010년 봄 학술대회 |
| 8 |
Effects of pH variation in post-etch cleaning solutions 고천광, 김태경, 원동수, 손향호, 이원규 한국화학공학회 2009년 가을 학술대회 |
| 7 |
BEOL 공정에서의 Cu의 부식 특성 연구 고천광, 이원규 한국화학공학회 2009년 봄 학술대회 |
| 6 |
초임계 이산화 탄소를 이용한 Pattern화된 p-SiOCH film의 복원 정재목, 배진한, 임권택 한국공업화학회 2009년 가을 학술대회 |
| 5 |
반도체 후공정 세정액 특성 연구 고천광, 원동수, 김태경, 손향호, 이원규 한국공업화학회 2009년 가을 학술대회 |
| 4 |
Cu BEOL을 위한 혼합세정액의 개발 및 성분별 특성 분석 이진욱, 이원규 한국화학공학회 2007년 봄 학술대회 |
| 3 |
Cu BEOL 위한 세정용액의 각 성분이 갖는 CuO/Cu의 선택적 용해도에 대한 특성분석 이진욱, 고천광, 이원규 한국화학공학회 2006년 가을 학술대회 |
