번호 | 제목 |
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Influence of non-corrosive etch gases containing C, H, and O elements on magnetic properties of CoPt superlattice 이재용, 최재상, 조두현, 정지원 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
2 |
Study on etch characteristics of nanometer-scale patterned CoFeB magnetic thin films using various etch gases 조두현, 이재용, 최재상, 정지원 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
1 |
Comparison of etch characteristics of Ru thin films using CH3OH/Ar and CH4/O2/Ar plasmas 황수민, 아드리안, 최지현, 정지원 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회 |