화학공학소재연구정보센터
번호 제목
3 Influence of non-corrosive etch gases containing C, H, and O elements on magnetic properties of CoPt superlattice
이재용, 최재상, 조두현, 정지원
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
2 Study on etch characteristics of nanometer-scale patterned CoFeB magnetic thin films using various etch gases
조두현, 이재용, 최재상, 정지원
한국화학공학회 2017년 봄 학술대회
1 Comparison of etch characteristics of Ru thin films using CH3OH/Ar and CH4/O2/Ar plasmas
황수민, 아드리안, 최지현, 정지원
한국화학공학회 2015년 봄 학술대회