화학공학소재연구정보센터(CHERIC) | 연구정보 | 문헌DB

학술대회 목록보기

번호	제목
18	Poly Si Nano-Pattern Etching Using Cl₂/Ar Synchronized, Asynchronized Pulsed Inductively Coupled Plasmas 김희주, 김교운, 홍종우, 오지수, 김정완, 이채린, 염근영 한국재료학회 2020년 봄 학술대회
17	Si Nanostructure Etching Using Pulsed Inductively Coupled Cl₂/Ar Plasma 신예지, 김희주, 김교운, 오지수, 염근영 한국재료학회 2019년 가을 학술대회
16	GaN의 건식식각 및 열처리에 따른 전기·광학적 특성 송창호, 김준, 변창섭, 김선태 한국재료학회 2010년 가을 학술대회
15	Nanoimprint Lithography 기술과 Reactive ion etcing 기술을 이용한 수십 나노급 상변화 물질 패턴 형성 연구 양기연, 김종우, 홍성훈, 이헌 한국재료학회 2007년 봄 학술대회
14	HBr/Ar과 Cl₂/Ar 플라즈마를 이용한 나노미터 크기로 패턴된 Magnetic Tunnel Junction의 건식식각 민수련, 조한나, 리유에롱, 최승필, 정지원 한국공업화학회 2007년 봄 학술대회
13	CoTb과 CoZrNb 자성 박막의 고밀도 반응성 이온 식각 신 별, 박익현, 정지원 한국화학공학회 2004년 봄 학술대회
12	High Density Plasma Etching of Magnetic Multi-layers of NiFe/Co and NiFe/Al-O/Co 라현욱, 한윤봉 한국화학공학회 2003년 가을 학술대회
11	자성 박막의 건식 식각 송영수, 정지원 한국화학공학회 2003년 봄 학술대회
10	MRAM 응용을 위한 자기박막의 고밀도 플라즈마 식각\|High-Density Plasma Etching of Magnetic Films for MRAM Applications 박형조,한윤봉\|Hyung-Jo Park,Yoon-Bong Hahn 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회
9	고밀도 플라즈마를 사용한 polysilicon 박막의 nanometer 크기의 패터닝\|Nanometer-sized patterning of polysilicon thin films using a high density plasma 변요한,김혜인,송영수,정지원\|Yo Han Byun,Hye In Kim,Young Soo Song,Chee Won Chung 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회