| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
금속유기화학기상증착법으로 증착된 Co-O-N 박막을 이용한 CoSi2 에피층 성장|Growth of epitaxial CoSi2 using Co-O-N films deposited by metallorganic chemical vapor deposition 김선일, 이승렬, 안병태 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |
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금속유기화학기상증착법으로 증착된 Co-O-N 박막을 이용한 CoSi2 에피층 성장|Growth of epitaxial CoSi2 using Co-O-N films deposited by metallorganic chemical vapor deposition 김선일, 이승렬, 안병태 한국재료학회 2003년 가을 학술대회 |