| 번호 | 제목 |
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Study on etch characteristics of nanometer-scale patterned CoFeB magnetic thin films using various etch gases 조두현, 이재용, 최재상, 정지원 한국화학공학회 2017년 봄 학술대회 |
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Investigation on High Density Plasma Reactive Ion Etching of CoFeB Thin Films For Nonvolatile Magnetic Random Access Memory 김은호, 소우빈, 공선미, 정지원 한국공업화학회 2010년 가을 학술대회 |
