| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
CMP 슬러리의 제조 - 콜로이드 화학과 재료의 관점|Preparations of CMP slurry - Colloid chemistry and material aspects 소재현,김남수,임영삼,강경문,이동준|Jae-Hyun So,Nam-Soo Kim,Young-Sam Yim,Kyung-Moon Kang,Dong-Jun Lee 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |
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CMP 슬러리의 제조 - 콜로이드 화학과 재료의 관점|Preparations of CMP slurry - Colloid chemistry and material aspects 소재현,김남수,임영삼,강경문,이동준|Jae-Hyun So,Nam-Soo Kim,Young-Sam Yim,Kyung-Moon Kang,Dong-Jun Lee 한국화학공학회 2002년 가을 학술대회 |