| 번호 | 제목 |
|---|---|
| 1 |
Development of New Ethcing Gas for Cu Dry Etching and Dry Etching Process with Small Chelators 김철희, 정지원, 임은택, 김동욱 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |
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Development of New Ethcing Gas for Cu Dry Etching and Dry Etching Process with Small Chelators 김철희, 정지원, 임은택, 김동욱 한국공업화학회 2019년 가을 학술대회 |