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번호	제목
33	3D Feature profile simulation toward next generation high aspect ratio contact hole etching process under fluorocarbon and additive gas plasma 박재형, 유혜성, 유동훈, 임연호 한국화학공학회 2022년 봄 학술대회
32	Sensitivity Enhancement of Optical Signals for Plasma Etching Endpoint Detection with Modified Clustering Method 이성현, 채희엽 한국화학공학회 2021년 가을 학술대회
31	3D NAND 고종횡비 구조에서의 습윤성 거동에 대한 연구 조윤종, 박진구, 김현태, 이찬희, Nagendra Prasad Yerriboina, 김태곤 한국재료학회 2020년 봄 학술대회
30	Quasi-Atomic Layer Etching of SiO2 Layers for Surface Cleaning of Nanoscale Patterns with Fluorocarbons having Low Global Warming Potential 김용재, 채희엽, 조예근, 이상인 한국화학공학회 2018년 가을 학술대회
29	Design of Block Copolymers for Directed Self-Assembly and Nanopatterning 김명웅 한국고분자학회 2017년 가을 학술대회
28	Effect of laser etching on various barrier materials for fine-pitch redistribution layers 송창민, 편정은, 한승주, 김성동, 김사라은경 한국재료학회 2017년 봄 학술대회
27	NF₃/H₂O의 혼합 가스 플라즈마를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 공정 최적화 및 오염물 최소화에 대한 연구 이구봉, 김현태, 김민수, 최인찬, 장성해, 박진구 한국재료학회 2016년 가을 학술대회
26	Advanced 3D feature profile simulation with a realistic plasma surface reaction model 육영근, 임연호, 유혜성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 최광성 한국화학공학회 2016년 봄 학술대회
25	Statistical variable selection of OES signal for identifying key process characteristics in plasma etching 하대근, 구준모, 박담대, 노현준, 유상원, 한종훈 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회
24	플라즈마 에칭 공정에서의 Model Predictive Control기법을 이용한 컨트롤 전략 구준모, 하대근, 한종훈 한국화학공학회 2015년 봄 학술대회