번호 | 제목 |
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1 |
반도체 배선용 Cu(Mg) 박막의 전기적 신뢰성 평가|Characterizations of electrical reliabities in Cu(Mg) film for ULSI interconnects 안정욱, 황상수, 김병희, 박영배, 주영창 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |
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반도체 배선용 Cu(Mg) 박막의 전기적 신뢰성 평가|Characterizations of electrical reliabities in Cu(Mg) film for ULSI interconnects 안정욱, 황상수, 김병희, 박영배, 주영창 한국재료학회 2004년 가을 학술대회 |