화학공학소재연구정보센터
번호 제목
6 Characterization of Cu-Mn/Ta layer as Cu diffusion barrier on low-k dielectric
강민수, 박재형, 한동석, 정연재, 박종완
한국재료학회 2015년 봄 학술대회
5 Layer-by-Layer Self Assembled 층의 Barrier layer 특성 연구
정대균, 이치영, 이재갑
한국재료학회 2013년 가을 학술대회
4 Cu (dmamb)2 전구체를 이용한 전해도금용 구리 씨앗층의 원자층 증착에 관한 연구
진광선, 박재민, 박광민, 이원준
한국재료학회 2011년 가을 학술대회
3 Fabrication of Backside-Illuminated CMOS Image Sensor Using 3-D Interconnect Technologies
표성규
한국화학공학회 2010년 가을 학술대회
2 Cu Electroless Bottom-up Filling Techniques for ULSI Interconnect Fabrication
이창화, 김애림, 김재정
한국화학공학회 2006년 가을 학술대회
1 구리 전착에서 첨가제들과 전류 파형에 대한 효과|Effects of Additives and Current Waveform in Copper Electroplating
노태근, 김재홍, 탁용석|Tae-Geun Noh, Jae-Hong Kim, Yongsug Tak
한국화학공학회 2000년 봄 학술대회