| 13 |
3D NAND 고종횡비 구조에서의 습윤성 거동에 대한 연구
조윤종, 박진구, 김현태, 이찬희, Nagendra Prasad Yerriboina, 김태곤
한국재료학회 2020년 봄 학술대회 |
| 12 |
GPU computing platform for ballistic transport in 3D feature profile simulation of plasma etching process
조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2014년 봄 학술대회 |
| 11 |
Multi-GPUs based 3D feature profile simulation for fluorocarbon plasma etch process
조덕균, 최광성, 육영근, 이세아, 천푸름, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
| 10 |
3D feature profile simulation of mask effects in high aspect contact hole etch process
천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 임연호
한국화학공학회 2013년 가을 학술대회 |
| 9 |
Plasma surface kinetic studies for high-aspect ratio contact hole etch profile simulation
천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 권득철, 임연호, 장원석
한국화학공학회 2013년 봄 학술대회 |
| 8 |
Plasma surface kinetic studies of silicon dioxide etch process in inductively coupled fluorocarbon plasmas
이세아, 천푸름, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 임연호
한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
| 7 |
GPU based 3D feature profile simulation for ultra-high deep etch process in inductively coupled fluorocarbon plasmas
천푸름, 이세아, 육영근, 최광성, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 임연호
한국화학공학회 2012년 가을 학술대회 |
| 6 |
3D feature profile simulation based on realistic surface kinetic studies of silicon dioxide etch process in C4F6/Ar/O2 plasmas
장원석, 유동훈, 조덕균, 육영근, 천푸름, 이세아, 김진태, 김상곤, 권득철, 송미영, 윤정식, 임연호
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
| 5 |
GPU based 3D feature profile simulation for plasma etch process
조덕균, 유동훈, 육영근, 장원석, 천푸름, 이세아, 임연호
한국화학공학회 2012년 봄 학술대회 |
| 4 |
3D feature profile simulation for fluorocarbon plasma etching processes
육영근, 조덕균, 유동훈, 장원석, 권득철, 김진태, 윤정식, 임연호
한국화학공학회 2011년 가을 학술대회 |
