번호 | 제목 |
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1 |
Deuterium Plasma처리가 저온 다결정 실리콘 TFT 안정성에 미치는 영향|The Effect of Deuterium Plasma Treatment on Reliability of Low Temperature Polycrystalline Thin Film Transistor 정영균, 박원규, 남영민, 손송호, 김동환 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |
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Deuterium Plasma처리가 저온 다결정 실리콘 TFT 안정성에 미치는 영향|The Effect of Deuterium Plasma Treatment on Reliability of Low Temperature Polycrystalline Thin Film Transistor 정영균, 박원규, 남영민, 손송호, 김동환 한국재료학회 2004년 봄 학술대회 |